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管式爐的抽真空操作該如何去做?這篇文章告訴你

時(shí)間:2024-03-29點(diǎn)擊次數(shù):1663
  管式爐具有操作簡(jiǎn)單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點(diǎn),主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
 
  在使用過(guò)程中,因操作不當(dāng)?shù)囊蛩?,很容易?dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)真空度不高的情況,從而影響設(shè)備的使用效率,無(wú)法達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn),對(duì)此,我們應(yīng)該如何進(jìn)行抽真空操作,從而保證設(shè)備的使用。

管式爐
 

  然而為了節(jié)約成本,我們根據(jù)抽真空的目的是排除氧氣,我們可以向管式爐內(nèi)部充入氮?dú)?、氬氣等惰性氣體,降低氧氣濃度從而達(dá)到實(shí)驗(yàn)材料不會(huì)出現(xiàn)氧化還原現(xiàn)象,操作步驟如下:
 
  1、首先,我們將接上真空泵和氮?dú)馄浚缓髮⑺虚y門(mén)關(guān)閉,打開(kāi)真空泵和真空閥門(mén),觀察壓力表等到真空泵真空度穩(wěn)定后,關(guān)閉真空閥門(mén)和真空泵;
 
  2、然后打開(kāi)氣瓶打開(kāi)進(jìn)氣閥門(mén),等到壓力表恢復(fù)常壓后,關(guān)閉進(jìn)氣閥門(mén);
 
  3、此時(shí)爐內(nèi)空氣濃度降低,但空氣仍有殘留,我們重復(fù)上述步驟,即可得到更高純度的氮?dú)鈴亩懦諝?,如需更高純度的?shí)驗(yàn)可多次重復(fù)上述步驟。注意打開(kāi)和關(guān)閉泵閥氣瓶順序。
 
  部分實(shí)驗(yàn)室管式爐需要在真空內(nèi)實(shí)驗(yàn),真空泵度很高,但是達(dá)不到實(shí)驗(yàn)要求,可能是抽完真空后直接關(guān)閉真空泵沒(méi)有關(guān)閉真空閥門(mén),因?yàn)檎婵毡貌还ぷ鳡顟B(tài)會(huì)回流空氣,從而導(dǎo)致空氣進(jìn)入爐管內(nèi),我們只需在抽完真空后先關(guān)閉真空閥門(mén)即可解決此類(lèi)問(wèn)題。

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