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快速退火爐使用的目的是什么?

時(shí)間:2022-12-13 點(diǎn)擊次數(shù):1201
   快速退火爐是一種金屬熱處理工藝,利用紅外燈管加熱技術(shù)和腔體冷壁技術(shù),實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,從而實(shí)現(xiàn)特定熱處理工藝。指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度,保持足夠時(shí)間,然后以適宜速度冷卻,有時(shí)是自然冷卻,有時(shí)是控制速度冷卻的熱處理方法。
  
  退火的目的:
  1、降低硬度,軟化工件,改善切削加工性。
  2、改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過(guò)程中造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力,減少工件變形、開(kāi)裂或裂紋傾向。
  3、細(xì)化晶粒,改善組織以提高工件的機(jī)械性能,消除組織缺陷。
  4、均勻材料組織和成分,改善材料性能或?yàn)橐院鬅崽幚恚缤嘶稹⒒鼗鹱龊媒M織準(zhǔn)備。
  在實(shí)際生產(chǎn)中,退火工藝應(yīng)用很廣泛,根據(jù)工件要求退火的目的不同,退火熱處理有多種工藝,常用的有完quan退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。
  
  其主要應(yīng)用領(lǐng)域是以集成電路領(lǐng)域(以硅為代表的第一代半導(dǎo)體)和光電子領(lǐng)域(以砷化鎵代表的第二代半導(dǎo)體)為代表的半導(dǎo)體領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工藝中,熱處理/退火是不可少的工藝,這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件都是為了實(shí)現(xiàn)功能化,這就意味著電信號(hào)的輸入/輸出,這些都需要金屬電極來(lái)協(xié)助完成。而要能得到好的接觸,就需要通過(guò)退火/擴(kuò)散工藝來(lái)進(jìn)行優(yōu)化。當(dāng)然,金屬合金化只是快速退火爐其中一個(gè)也是較為重要的一個(gè)功能,在其他相關(guān)領(lǐng)域也有其他應(yīng)用。
  
  快速退火爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備。隨著集成電路技術(shù)飛速發(fā)展,開(kāi)展該系統(tǒng)的創(chuàng)新研發(fā)對(duì)國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的設(shè)備具有十分重大的戰(zhàn)略意義和應(yīng)用價(jià)值。

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